华为测试国产 EUV 芯片？制造机: 突、破？芯片制造瓶颈的关键一步

在全球半导体行业面临技术壁垒和地缘政治压力的背景下，华为在芯片制造领域再次传来重大消息。据多方消息来源透露，华为已开始在其东莞工厂测试一款国产的极紫外光刻（EUV）芯片制造设备。如果测试顺利，这项技术突破可能使华为和中国的半导体产业在不依赖荷兰光刻巨头阿斯麦（ASML）的情况下，成功制造出先进的芯片，显著提升中国在半导体领域的自给自足能力。

一、华为国产 EUV 芯片制造机的背景

1. 芯片制造的“卡脖子”困境

自 2019 年以来，美国政府对华为实施了一系列严厉的出口管制和技术封锁，尤其是在高端芯片制造领域。美国通过限制阿斯麦对华为及中芯国际等中国公司出口 EUV 光刻机，直接切断了中国公司生产 7nm 以下高端芯片的可能性。

EUV（Extreme Ultraviolet Lithography，极紫外光刻）技术是当前最先进的芯片制造技术。阿斯麦是全球唯一能够生产 EUV 光刻机的公司，其设备价格高昂，单台价格超过 1.5 亿美元，并且受制于美国的技术管制。因此，尽管中芯国际等中国公司在 DUV（深紫外光刻）技术上取得了一定突破，但在 7nm 及以下的先进制程上仍受到制约。

在这种背景下，中国半导体行业积极寻找替代方案，国产化 EUV 技术成为中国半导体突围的关键。

2. 华为与中芯国际的自力更生之路

面对外部封锁，华为并未停下在半导体领域的探索步伐。2023 年，华为推出的麒麟 9000S 芯片已采用中芯国际基于 7nm 工艺的制造技术。这一成就标志着中国在芯片制造上的一次重要突破。然而，要进一步向 5nm、3nm 乃至更先进的工艺节点迈进，国产 EUV 光刻设备的突破将成为决定性因素。

因此，华为测试国产 EUV 设备的消息无疑为中国半导体行业带来了巨大的希望。

二、华为国产 EUV 光刻机的突破性技术

1. 设备来源与技术背景

据爆料人@MaWooKong（通过 WCCFtech）透露，华为目前正在测试的国产 EUV 光刻机由一家中国公司研发，并已在 2023 年获得了相关专利。这意味着这款设备在理论上已获得技术许可和实际应用可能性。

该设备采用 LDP（激光放电诱导等离子体）技术制造，这是一种不同于 ASML LPP（激光等离子体）技术的新型 EUV 技术。

2. LDP 与 LPP 的技术差异

LPP（激光等离子体）技术是 ASML 当前 EUV 光刻设备采用的核心技术。LPP 技术通过高能激光轰击液态锡（Sn）或其他金属，产生高温等离子体，进而发出 13.5nm 波长的 EUV 光。LPP 技术具有高效且稳定的优点，但系统复杂、成本高昂，并需要极高的精密度和工艺控制。

相比之下，LDP（激光放电诱导等离子体）技术采用更简化的设计，主要通过以下方式实现 EUV 光刻功能：

通过电极之间的放电将锡蒸发并电离

高压电流引发电子与锡离子的碰撞，生成等离子体

由此产生 13.5nm 波长的 EUV 辐射

LDP 技术虽然在复杂度和成本上相对更低，但在功耗和制造成本上有明显优势。

此外，LDP 设备体积更小，操作更灵活，更适合快速迭代和生产优化。

3. LDP 技术的潜力与挑战

如果华为能够成功掌握 LDP 技术，那么国产 EUV 光刻机的量产和优化将有望降低芯片制造成本，提高产能和成品率。

然而，LDP 技术仍面临以下挑战：

精度问题：EUV 光刻需要在纳米级别上保持精度，这对光学系统、控制算法和材料工艺提出了极高的要求。

光源稳定性：LDP 技术需要在长时间运作中保持等离子体的稳定性，这将直接影响成品率和设备寿命。

配套生态系统的建设：EUV 光刻设备需要与光刻胶、掩模板、检测设备等形成完整的产业链。

三、国产 EUV 光刻机对中国芯片行业的意义

1. 打破技术封锁，推动自给自足

华为测试国产 EUV 设备，标志着中国有望在半导体制造的“命门”领域实现自主可控。

当前，全球最先进的芯片制造仍然被美国、日本、韩国和荷兰所掌控。ASML 的 EUV 光刻机在全球市场中占据垄断地位。

一旦中国掌握国产 EUV 技术，将在以下方面打破技术封锁：

独立开发 7nm 及以下先进制程芯片

降低对进口设备的依赖，减少外部制裁的影响

提升中国半导体制造能力，增强在全球市场中的竞争力

2. 降低芯片制造成本，提升市场竞争力

国产 LDP EUV 设备不仅可能在技术上实现突破，也可能在成本上取得优势。

LDP 技术的简化设计将大幅降低设备采购成本

自主生产可减少进口税和维护成本

提升产能，缩短制造周期，提高成品率

对于华为、中芯国际等企业来说，这将为推出高性价比的芯片产品提供强有力的支持。

3. 赋能 AI、5G 和高性能计算领域

EUV 技术是实现先进芯片制造的关键。

7nm 及以下工艺是 AI 芯片、5G 通信芯片、服务器芯片的核心技术门槛

成功突破 EUV 设备，将加速中国在 AI、通信、云计算等领域的发展

四、量产与市场前景

据消息人士透露，这款国产 EUV 设备预计将在 2025 年第三季度 进行试生产，并可能在 2026 年 开始大规模量产。

这一时间节点与全球芯片产业的技术演进周期相吻合。当前，台积电和三星已在 3nm 制程上展开竞争，一旦华为的国产 EUV 设备投入量产，中国将在先进芯片领域迎来重要的技术弯道超车机会。

五、结语：国产 EUV 突破，华为开启芯片新纪元

华为测试国产 EUV 设备，不仅是技术上的一次重要突破，更是中国半导体产业“自立自强”的重要里程碑。

如果华为能够成功掌握 LDP 技术并实现量产，中国半导体行业将迎来前所未有的竞争力。届时，全球芯片市场的格局将因此发生深刻变化。

（内容来源：文汇报）